STACIS初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微平版印刷,计量和检测设备,现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂,故障分析实验室,纳米技术研究,纳米制造设施和材料研究。
STACISIII包括一个新的和改进的数字控制器,DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口,这个新的先进的控制系统为用户提供了一个现代的,易于使用的图形用户界面(GUI)。通过数百个成功安装,STACIS是振动敏感度高的仪器的理想振动b2b商务系统。
TMC主动隔振系统STACIS?III特征及优点:
新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面
隔振开始于0.6赫兹,1Hz时达到40%至70%的隔离率
频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔振率大于90%
降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行
有效隔振范围,0.6Hz到150Hz
获得众多用户的广泛认可和肯定
6向自由度硬安装设计,无需空气悬架
强大的控制系统无需定期重新校准
point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容
随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形
TMC的STACIS?技术使用压电执行器主动消振
数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)
提高客户产品产量、质量、成品率。
符合RoHS标准
宽的主动隔振带宽,的低频隔振效果
亚赫兹的主动震动b2b商务,主要在0.6-6Hz频段内的隔振
可堆叠式设计
主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚至无需调谐
由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器
负载可达2000kg
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