运动范围可达375μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性,压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
压电纳米定位台性能
·超高分辨率
压电纳米定位台采用无摩擦柔性铰链导向机构,可实现亚纳米级分辨率。
芯明天N60.X系列压电纳米定位台,配套E53系列压电控制,可实现0.5nm的步进分辨率。
·大出力
芯明天快速刀具定位台采用大出力压电陶瓷,出力可达几千牛顿,广泛应用于精密加工等领域。
·快速响应
压电纳米定位台由容性压电陶瓷驱动,响应时间可快至毫秒级。
芯明天N65系列纳米定位台配套大功率E00/E01系列压电控制器,可实现满幅值阶跃时间为1.5ms。
·无磨损
平台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。
·电压驱动
芯明天压电纳米定位产品标准驱动电压为0~120/150V,可产生375μm位移行程。
同时可以根据要求定制其他电压驱动版本。
驱动控制系统
芯明天压电陶瓷控制器通过模拟输入或数字输入控制,具有功率放大功能,且输出电压、输出频率可调。
多种通道数及功能可选,可驱动各种压电类产品,同时也可根据应用需求提供定制服务。
http://www.nators.net/Products-36972080.html
https://www.chem17.com/st519176/product_36972080.html