全自动半自动探针台

　　EPS-300全自动半自动探针台是韩国Ecopia公司的一款手动探针台。EPS-300尺寸紧凑，高性价比，适合放置在手套箱、屏蔽箱内使用，适合与太阳光模拟器或其他仪器联用。

　　全自动半自动探针台产品规格：

　　- 镀金真空样品吸盘：4英寸；

　　- 样品尺寸：5x5mm ~ 4英寸；

　　- 显微镜：立体显微镜；

　　- 大放大倍数：90X, 135X, 200X；

　　- 样品卡盘平整度：10um；

　　- 探针座精度：5um, 选配0.7um；

　　- 样品卡盘移动X-Y-Z：50mm-50mm-12mm；

　　- 探针锁位设计，防止回针(选配)；

　　可选附件：

　　- CCD视频镜头；

　　- 加热台；

　　- 黑箱、屏蔽箱；

　　- 防振台；

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